- 세계적 반도체 재료 제조회사인 Clariant社에 기술 제공으로 기술료 수입 기대
- 100%국산화로 2000년부터 국내업계 전반, 연간 2천억원 상당의 감광제 수입 대체 효과 기대
- 4기가 D램 개발, 2년 정도 단축 가능

 

현대전자(대표: 김영환)가 세계 최초로 4기가 D램 제조용 감광제인 ArF(아르곤 플로라이드) 감광제의 양산기술화에 성공하여 그 기술을 수출하게 되었다. 감광제란 설계된 반도체 회로를 웨이퍼상에 전사시킬 때 사용되는 감광성 고분자 원료로서 초고집적도 반도체 제조공정의 성패를 좌우하는 핵심재료이다.

 

현대전자가 양산기술화에 성공한 4기가 D램용 ArF 감광제는 최소 회로선폭 0.10미크론(1미크론은 100만분의 1 미터)까지 형성할 수 있으며, 4기가 D램 제조에는 물론 256메가 D램 제조부터 적용 가능한 감광제로서 향후 256메가 D램 생산에 동기술을 적용하여 웨이퍼당 생산개수를 대폭 늘릴 수 있어 제조원가측면에서 절대적 우위를 차지 할 수있을 것으로 보여진다. 현재 사용중인 KrF감광제가 ArF감광제용 장비가 갖추어질 것으로 예상되는 99년말부터 현대전자에서 양산기술화에 성공한 ArF 감광제로 상당 부문 대체될 것으로 예상되며, 이 경우 2000년에는 국내업계 전반적으로 약 2,000억원 정도의 수입 대체 효과를 얻을 수 있을 것으로 예상된다.

 

현대전자는 이 기술을 스위스에 본사를 두고있는 세계적인 반도체 재료제조업체 중의 하나인 Clariant사에 기술제공 계약을 체결하여 상당한 금액의 로얄티 수입과 함께 양산하여 판매시 일정 비율의 기술료를 받기로 해 반도체 칩 제조와 함께 기술 수출에 의한 수입을 올리는 쾌거를 이루었으며, 현재 국내외 반도체 재료회사들의 기술이전에 대한 문의가 잇따르고 있다. 특히, 이번에 양산화에 성공한 ArF감광제에 대해 Clariant社의 관계자는 "현대전자의 동기술을 검토해 본 결과, 현존하는 감광제는 물론이고 현재까지 밝혀진 개발 예정 감광제와 비교해 볼 때 기술 수준이 뛰어나 당분간 현대전자의 이 감광제를 능가할 만한 기술은 나오기 힘들 정도로 우수한 기술이다"라고 극찬하기도 하였다.

 

더욱이 동 감광제는 세계 최고의 품질 특성을 갖추고 있을뿐 아니라, 제조에 사용되는 모든 재료를 100% 국산화에 성공함으로써 제조원가 및 가격 경쟁력에서 월등히 우수한 반도체 제조 핵심 재료이다. 또한, 현대전자는 장기적으로 ArF감광제를 보다 저렴한 가격에 안정적으로 확보할 수 있게 됨에 따라 칩 제조원가 중 25%정도 차지하는 재료비 비용을 절감 할 수 있어 256MD램이후 제품의 Cost측면에서 경쟁사보다 앞설 수 있으므로 2000년 이후 시장 점유율을 대폭 확대할 수 있게 되었다.

 

한편 현대전자는 동기술에 대해 다수의 특허를 이미 국내외에 출원 완료하였으며, 97년 6월에 이미 광고분자학회에 초청 논문으로 선정된 것을 비롯해 올해에는 세계 최고의 권위를 자랑하는 SPIE(Society of Photooptical Instrument Engineering) 학술대회에서 발표 및 Solid State Technology학술지의 소개 등을 통해 감광제 분야에서 최고의 기술임을 인정 받기도 하였다. 현대전자는 세계 최첨단 감광제 개발에 이어 양산기술까지 확보하게 됨으로써, 4기가 D램의 경우, 개발을 2년 정도 단축할 수 있게 되어 2000년대에는 명실공히 세계 초일류 반도체 제조업체로 부상 하게 될 전망이다.

 

현재 64메가 D램에 사용 중인 KrF(크립톤 플로라이드) 감광제의 세계 시장 규모는 올해 2,500억원에서 2000년에는 6,700억원 규모로 늘어 날 것으로 예상되며, ArF 감광제가 KrF 감광제를 대체 사용이 가능한 제품임을 감안하면 본격 양산이 예상되는 2000년부터는 상당부분 ArF감광제로 대체될 것으로 전망된다.

 

1998년 12월 10일(木)
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