[반도체 hy-스쿨2 3교시 3번째] 작고 깊은 패턴을 만들자! RIE 공정 도와줘!
2026-07-01
RIE 공정은 플라즈마를 통해 화학적 식각의 장점인 높은 선택비, 물리적 식각의 장점인 비등방성 제거 특성을 동시에 활용할 수 있는 건식 식각 기술입니다.
RIE 공정은 플라즈마를 통해 화학적 식각의 장점인 높은 선택비, 물리적 식각의 장점인 비등방성 제거 특성을 동시에 활용할 수 있는 건식 식각 기술입니다.
