[반도체 hy-스쿨2 3교시 2번째] 에칭, 막을 깎아내는 기법은 무엇일까요?
2026-07-01
에칭 공정은 회로 패턴을 제외한 불필요한 부분을 제거할 때 사용하는 물질에 따라 습식/건식 식각, 그리고 반응 방식에 따라 물리적/화학적/RIE 식각으로 구분합니다.
에칭 공정은 회로 패턴을 제외한 불필요한 부분을 제거할 때 사용하는 물질에 따라 습식/건식 식각, 그리고 반응 방식에 따라 물리적/화학적/RIE 식각으로 구분합니다.
