하이닉스반도체(대표 우의제(禹義濟), www.hynix.com)가 반도체 업계 부설 연구소로는 국내 최초로 과학기술부 산하 한국산업기술진흥협회로부터 환경/안전/보건 (ESH: Environment Safety & Health) 기술연구소 설립 인가를 받고 이천 본사에서 현판식을 거행했다고 3일 밝혔다.

하이닉스반도체 ESH 기술연구소는 ESH 기획팀, ESH 기술개발팀, 자원화 기술개발팀, 안전/보건 기술개발팀으로 구성되어, 환경 기술 개발, 재활용 기술 개발, 안전/보건 기술 개발, ESH 기술 특허출원 등의 과제를 담당하게 된다. 특히, 분야별 중점 연구과제를 선정하여 단기적으로는 연말까지 용수 사용량 10% 절감, 폐기물 재활용율 84% 달성, 과불화탄소(PFC) 물질대체 및 공정최적화, 반도체용 특수가스의 위험성 연구, 개인별 체력조건에 따른 작업방법 분석 및 인간공학 연구 등의 성과를 달성할 계획이다.

또한 기존의 200mm Fab(8인치 웨이퍼 가공설비) 보다 규제가 까다로운 차세대 생산라인인 300mm Fab(12인치 웨이퍼 가공설비) 가동에 대비하여 최적의 과불화탄소 및 휘발성유기화합물(VOC) 방출요건, 가스/화학약품/유틸리티의 소비요건 및 안전/보건 등의 인간공학적 요건에 적합한 종합적인 대응 기술을 개발할 예정이다.

이번 ESH 기술연구소 설립은 반도체 생산공정 및 장비사양의 고집적화, 생산공정에 사용되는 각종 가스 및 화학약품의 다변화, ESH 국제규제 강화로 인한 환경친화적 시스템 도입의 필요성에 따라 설립되게 됐다. 하이닉스반도체는 이번 ESH 기술연구소 설립을 통해 그린 컴퍼니(Green Company)라는 환경친화적 이미지 구축과 공정개선을 통한 원가절감 및 환경/안전/보건 기술판권을 통한 수익창출에 적극적으로 나설 계획이다.

2003년 6월 3일(火)
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