Step Coverage, 단차피복성은 평판이 아닌 패턴 상에서 위치에 따른 증착 두께 차이를 비율로 나타낸 것입니다.

또한 패턴의 빈 공간을 순차적으로 채워서 충전하는 것을 Gap-fill, 매립 특성이라고 합니다.